针对零点输出及其漂移5139vip官网网站展开了 广泛研究

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  应变片零点和温漂 压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究 许东华, 林惠旺, 张兆华, 谭智敏, 刘理天 (清华大学 微电子学研究所, 北京 100084) 1 引言 压阻式压力传感器由于制作工艺简单、 灵敏度高、 线性度好、 后续处理电路简单易行而得到了 广泛应用。5139vip官网网站 但由于压阻效应的大温度系数及传统方法制作电阻失配较大, 使得传感器往往具有大的灵敏度温漂、 零点输出及零点温漂。 这些不利因素致使压阻式压力传感器在高端、5139vip官网网站 精确测量压力的应用场合受到限制。 自 20 世纪 80 年代以来, 针对零点输出及其漂移展开了 广泛研究, Kim 和 Wise 一起指出零点...

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